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1. 설계작업
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2. 부품생산작업
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각종 부품/Chamber 등을 생산부에서 가공한다. |
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3. 조립공정
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- 조립실에서 생산부에서 가공되여진 부품등을 조립하여 완제품으로 만드는 공정이다.
- Leak Test : Chamber/Pumping Ling의 Leak 여부를 테스트한다. |
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4. Test 공정
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완성된 System를 Operating시키고 실험샘플을 직접 올려서 원하는 실험공정을 테스트한다.
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5. 납 품
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Test를 걸쳐 완성된 제품을 납입처에 납품한다.
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